EJA傳感器是一個大的概念，它有多種類型，比如壓力，差壓等。結構原理單晶硅諧振傳感器的核心部分，即在一單晶硅芯片上采用微電子機械加工技術（MEMS），分別在其表面的中心和邊緣作成兩個形狀、大小*一致的H 形狀的諧振梁（H 型狀諧振器有兩個振梁），且處于微型真空腔中，使其即不與充灌液接觸，又確保振動時不受空氣阻尼的影響。